La technologie de mesure au niveau nanométrique comprend : la taille de précision et la mesure du déplacement au niveau nanométrique, et la mesure de la topographie de surface au niveau nanométrique. Il y a deux directions principales de développement pour la technologie de mesure de nanomètre.
La première est la technologie d’interférométrie optique, qui utilise les franges d’interférence de la lumière pour améliorer la résolution de la mesure. Les méthodes de mesure incluent : l’interférométrie laser à double fréquence, l’interférométrie héterodyne optique, l’interférométrie des rayons X, la méthode standard de mesure de l’outil F-P, etc., peuvent être utilisées pour la mesure précise de la longueur et du déplacement, et peuvent également être utilisées pour la mesure de la micro-topographie de surface.
La seconde est la technologie de mesure microscopique des sondes à balayage (STM). Son principe de base est basé sur l’effet tunnel de la mécanique quantique. Son principe est d’utiliser une sonde très forte (ou méthode similaire) pour scanner la surface mesurée (sonde et La surface mesurée n’est pas réellement en contact), et l’apparence microscopique tridimensionnelle de la surface est mesurée à l’aide d’un système de contrôle de positionnement de déplacement tridimensionnel nano-niveau. Principalement utilisé pour mesurer l’apparence microscopique et la taille de la surface.
Les méthodes de mesure utilisant ce principe incluent : microscope tunneling de balayage (STM), microscope de force atomique (AFM), et ainsi de suite.